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談談凈化工程中氣壓需符合的規定

       凈化工程是指控制產品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產品能在一個良好的環境空間中生產、制造,該環境空間的設計施工過程。
       對于大部分潔凈空間,為了避免外界污染侵入,需要保持內部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。凈化工程的壓力差維持一般應符合以下原則:
       1、潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
       2、潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。
       壓力差的維持依靠新風量,這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風量通過凈化工程室內各種縫隙時的阻力。
2022/11/10 14:06:19 501 次

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